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郭彤
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期刊论文
利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜
计量学报2005年1月第26卷第1期/ACTA METROLOGICA SINICA Vol.26, No.1, January 2005，-0001，（）：
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM，测量范围可以达到25mm×25mm×5mm，分辨力为0.1nm。纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围，减小了压电扫描器固有特性的影响。运动全范围内的自适应误差补偿通过5个自由度的闭环操作得以实现。系统的高精度是通过3个微型激光干涉仪的零阿贝误差设置，一个表面传感AFM测头以及两个角度传感器实现。系统具有4种工作模式，其中第4种为最佳工作模式。实验结果表明系统具有高精度和大范围的特点。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时17分57秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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