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期刊论文
动态电场诱导氧化实现纳米结构的加工
仪器仪表学报2005年2月第26卷第2期,-0001,():
利用原子力显微镜(AFM)进行表面的局部氧化加工是进行纳米结构加工的一种很有前途的方法。它具有广泛的应用范围,可以进行功能性纳米电子器件和纳米机械结构的加工。实验采用了动态电场作用下的AFM诱导氧化的方法,提高了氧化物的生长速度,并且改善了氧化结构的纵横比,能够更好地控制生成氧化物的结构和电属性。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时18分10秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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