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侯丽雅
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期刊论文
微系统领域的3个关键技术
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摘要/描述
本文评述微系统的3维成形、空间运动机构制作和微作业技术。提出了微系统的定义，指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述3个技术的影响。评述了LIGA、DRIE、EDM、微浮雕、折迭法、RPM等6种3维成形法，并指出如何组合它们以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要。评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法，并对它们的选择原则提出建议。评述了微物体在流体中的作业、微注射、狭窄空间中的作业、工作台-机器人系统上的微作业等4类作业。最后，提出了值得研究的若干课题群。
【免责声明】以下全部内容由[侯丽雅]上传于[2005年02月25日 18时19分41秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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