高温快速退火对重掺锑硅单晶中流动图形缺陷的影响*，成果详细信息-中国科技论文在线

刘彩池

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期刊论文

高温快速退火对重掺锑硅单晶中流动图形缺陷的影响*

刘彩池，郝秋艳)) ，刘彩池)† ，孙卫忠) ，张建强) ，孙世龙) ，赵丽伟) ，张建峰) ，周旗钢) ，王敬)

物理学报，2005，54（10）：4863～4866，-0001，（）：

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摘要/描述

对大直径重掺锑硅单晶中流动图形缺陷（FPDs）进行了研究.利用高温快速退火工艺（RTA），将重掺锑硅片在N2，Ar，H2三种不同气氛下进行热处理，对退火前后FPDs 的密度变化进行了研究，分析了重掺锑硅单晶中FPDs在不同高温RTA过程中的热稳定性.并从重掺杂原子锑与间隙氧之间的关系，分析了重掺锑硅片中FPDs在高温快速退火工艺下的消除机制，认为重掺锑硅单晶中大量的锑原子，影响了硅片中间隙氧的浓度分布，进而影响了原生微缺陷的形成及热行为。

关键词: 重掺锑硅单晶，快速退火( ， RTA) ，，流动图形缺陷( ， FPDs) ，，空洞缺陷

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