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荣伟彬
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引用
期刊论文
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究*
仪器仪表学报，2007，28（4）692～698，-0001，（）：
摘要/描述
针对微操作过程中对微力觉信号的需求，以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺，设计了一种用于微操作的三维力传感器，建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹陛元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术，实现对传感器的标定，并给出了传感器的信号处理方法。实验证明，该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点，满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN，X向与Y向的分辨率均为2.4μN，Z向的分辨率为4.2μN。
【免责声明】以下全部内容由[荣伟彬]上传于[2009年12月23日 16时04分40秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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