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王道

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期刊论文

有机硅酸酯薄膜SO2气体传感器

王道李丽武少华孟声陈霭番

化学学报,2003,54(1):91~94,-0001,():

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摘要/描述

采用溶胶2凝胶法和自旋涂覆技术在二氧化硅为基材的梳状电极电容器(IDC)上形成有机硅酸酯的气敏涂层。在室温和0.1kHz、1kHz、10kHz频率下测定了该电容器的电容,实验表明其电容的改变值和气氛中二氧化硫(SO2)浓度的变化呈线性关系,亦与测量时使用的频率和气敏涂层的厚度密切相关。在本实验条件下,经有机改性的N,N2二乙基氨丙基三甲氧基硅烷比同类的硅酸酯对SO2有更高的灵敏度。

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