提示
王道
-
32浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
125下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
梳状电极电容式SO2气体传感器①
传感技术学报，2001，（4）：265～270，-0001，（）：
摘要/描述
二氧化硫气体传感器由一组梳状电极和做为电介质覆盖其上的，对二氧化硫敏感的有机改性硅酸酯薄膜组成。梳状电极电容的基材为二氧化硅，铝电极以薄膜覆在其上，电极的厚度为1.6μm电极宽度和间隙为15μm，电极的长度为1200μm，电极总数为400个。采用溶胶-凝胶法和自旋涂覆技术形成气敏涂层。在室温和100Hz，1kHz，10kHz下，测定了梳状电极电容器的电容，探讨了二氧化硫浓度，测量频率和涂膜厚度对传感器灵敏度的影响。在本实验条件下，经有机改性的N，N2二乙基氨丙基2三甲氧基硅烷比其他同类的硅酸酯对二氧化硫有更高的灵敏度。
【免责声明】以下全部内容由[王道]上传于[2009年06月23日 19时13分59秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
我要评论
全部评论
共 0 条
本学者其他成果
同领域成果
