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温志渝
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引用
期刊论文
集成硅微机械光压力传感器的研制工艺*
仪器仪表学报，1996，17（1）：221～224，-0001，（）：
摘要/描述
本文系统地介绍了一种新颖的硅微机械压力传感系统的特殊制造工艺。在工艺实验的基础上，对硅微弹性膜、获取传输光信息的SiO2-SiON-SiO2条形光波导、光电探测器、金属布线以及传感器的一体化等工艺技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了分析讨论，提出了有效的工艺方法，为这类微型光机电传感器系统的集成化研究打下了较好的实验基础。
关键词:
【免责声明】以下全部内容由[温志渝 ]上传于[2005年03月08日 00时14分07秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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