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肖鹏
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期刊论文
沉积条件对CVD-sic沉积热力学与形貌的影响
无机材料学报，2002，17（4）：877～881，-0001，（）：
摘要/描述
以CH3SiCl3为源物质，H2为载气，Ar气为稀释气体，研究了沉积温度和沉积气氛压力对SiC沉积形貌的影响。应用晶体成核一长大理论和SiC沉积热力学理论，解释了SiC沉积的各种形貌。研究表明：降低系统压力和提高沉积温度，能减小SiC在气相中形核所需的最大能量，促进形核。SiC沉积热力学随沉积条件的改变决定了SiC沉积形貌的改变。
【免责声明】以下全部内容由[肖鹏]上传于[2009年04月06日 15时25分46秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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