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肖鹏

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期刊论文

CVI法快速制备C/SiC复合材料

肖鹏徐永东黄伯云

硅酸盐学报,2002,30(2):240~243,-0001,():

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摘要/描述

为缩短CVI法制备C/SiC复合材料的工艺周期并降低成本,研究了CVI工艺过程中沉积温度、MTS(CH3SiC13)摩尔分数和气体流量对SiC沉积速率和MTS有效利用率的影响。实验结果表明:提高沉积温度,常压下1100℃时增大MTS摩尔分数(11%→19%),都有利于提高SiC沉积速率;提高沉积温度和降低反应物气体流量,能提高MTS有效利用率。在优化的工艺条件下,预制体的微观孔隙内沉积了致密的SiC基体,沉积速率达到142μm/h左右,并有效消除了基体中裂纹的形成.MTS的有效利用率为11%~27%。

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