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苑伟政
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引用
期刊论文
MEMS惯性传感器的系统级建模技术研究*
，-0001，（）：
摘要/描述
阐述了基于多端口组件网络的MEMS建模方法——把MEMS器件分割为多个功能结构部件，并把其建模为参数化多端口组件模型，通过组件端口的相互联结形成的网络表征整个MEMS器件。根据物体的相对运动理论和采用能量法表述了建立微惯性器件的组件模型的一般方法。在此研究基础上，建立了一电容式微加速度计和一微陀螺的系统级模型。仿真结果表明多端口组件网络方法是快速建立和仿真MEMS系统级模型的有效方法，而物体的相对运动理论和能量法对建立惯性MEMS的组件模型具有普遍指导意义。
【免责声明】以下全部内容由[苑伟政]上传于[2005年01月19日 18时08分55秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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