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于威

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期刊论文

脉冲激光退火纳米碳化硅的光致发光

于威何杰孙运涛韩理傅广生

光谱学与光谱分析,2005,25(4):506~508,-0001,():

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摘要/描述

采用XeCl准分子脉冲激光退火技术制备了纳米晶态碳化硅薄膜(nc-SiC),并对薄膜的光致发光(PL)特性进行了分析。结果表明,纳米SiC薄膜的光致发光表现为300~600nm 范围内的较宽发光谱带,随退火激光能量密度的增加,nc-SiC薄膜398nm附近的发光峰相对强度增加,而470nm附近发光峰相对减小。根据nc-SiC 薄膜的结构特性变化,认为这两个发光峰分别来源于6H-SiC导带到价带间的复合发光和缺陷态发光,并且这两种发光过程存在竞争。

【免责声明】以下全部内容由[于威]上传于[2009年07月10日 16时09分46秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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