在光电圆刻机上，为了获得高精度刻划指令，设计了切向圆光栅全接收系统。本文首先推导了低频圆光栅组件，非相干光入射时的理想莫尔场方程，然后在频域内详细讨论了分度误差与均匀性误差同时存在时实际莫尔场频谱。研究指出，全接收实质上是光阑空间频率等于误差基本空间频率的一种空间滤波器，提高精度作用集中表现在能够滤去大量误差谐波成分。在全接收窄带近似条件下： 1. 只有动（或静）栅存在误差时，莫尔信号既不产生相位误差，也不产生幅值误差。 2. 动栅与静栅同性质误差（即均匀-均匀、分度-分度）交互组合，只引起莫尔信号幅值变化，不产生相位误差。 3. 只有动栅与静栅不同性质误差同时存在与交互组合，才导致莫尔信号产生相位误差。 4. 由于各误差频谱成分幅值大大小于1，所以残留相位误差及幅值误差已在为减小。 5. 为了提高本全接收系统精度，主要应减少动栅的分度误差与光源、静栅、全接收器等的均匀性误差。 最后列出了精度测试结果，测试结果表明，全兿收是提高光栅测角系统精度的重要手段之一。