A new type of scanning electron microscope using the coaxial backscattered electrons，成果详细信息-中国科技论文在线

蒋昌忠

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期刊论文

A new type of scanning electron microscope using the coaxial backscattered electrons

蒋昌忠， C.Z. Jiang a ， b ， * ， P. Morin c ， N. Rosenberg b

Micron 33(2002)69-74，-0001，（）：

URL:

摘要/描述

A new coaxial detection system for backscattered electrons in SEM is described. This coaxial detection system allows us to collect only the backscattered electrons that have lost a small percentage of the primary energy, emerging from the sample surface with a take-off angle de

关键词: Scanning electron microscope ， Backscattered electron ， Coaxial detection ， Monte Carlo simulation ， Backscattering coeffcient ， Composition analysis

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