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梅雪松
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期刊论文
新型磁悬浮精密定位平台的研究
，-0001，（）：
摘要/描述
针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题，设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台。该平台采用十二个空心电磁线圈做定子、三十六块永磁体做动子，悬浮部分与驱动部分相互独立，很好地解决了电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单元之间的相互耦合问题。采用Lorentz定律，分析了永磁体长度、线圈电流和悬浮高度对悬浮稳定性的影响，确定了平台的悬浮平衡位置。建立平台在平衡位置附近的悬浮数学模型并进行了动态响应仿真研究。结果表明该磁悬浮精密定位平台在悬浮电流为2A，悬浮高度为0.5mm时可以稳定悬浮，因此可应用于需要超精密定位和超洁净环境的半导体光刻装置中。
【免责声明】以下全部内容由[梅雪松]上传于[2005年05月17日 22时32分00秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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