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吴广明

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期刊论文

实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响*

吴广明王珏沈军杨天河张勤远周斌邓忠生范滨周东平张风山

物理学报,2001,50(1):175~181,-0001,():

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摘要/描述

报道了实验制备条件对纳米多孔SiO2薄膜结构、折射率、红外吸收、xPs等特性的影响,尤其是报道了一种新的快速、方便、有效实现纳米多孔SiO2薄膜折射率连续调节的方法在溶胶-凝胶基础上,采用碱、酸一步法以及碱/酸两步法和浸渍镀膜技术制备了纳米多孔SiO2薄膜使用原子力显微镜、扫描电镜、xPs、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特性实验结果给出从碱一步法、碱/酸两步法、到酸一步法形成的薄膜,SiO2颗粒变小,孔隙率降低,折射率从118连续增加到1.41;s-2。峰向高束缚能方向移动,并接近块体的值;红外吸收光学模m。的频率向低波数方向移动,揭示了s-0-s-键角的不断降低这些结果表明,碱/酸两步法能方便、有效地连续控制纳米多孔SiO2薄膜的结构;实验条件对薄膜特性的影响起因于纳米多孔结构改变引起的s-凸结构变化

【免责声明】以下全部内容由[吴广明]上传于[2006年12月06日 22时47分17秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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