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吴志明
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期刊论文
氧化钒热敏特性研究
仪器仪表学报，2001，24（4）：237～238，-0001，（）：
摘要/描述
采用金属钒作为靶材，利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜。分析了改变溅射总压，溅射时间，溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响，探索了氧化钒的成膜工艺。并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻，薄膜电阻温度特性。最后对样品进行了XPS分析。
【免责声明】以下全部内容由[吴志明]上传于[2009年05月14日 14时31分47秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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