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张卫

     

  

从事集成电路工艺、半导体材料和器件的研究。

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  • 马义德

    兰州大学

    信息传输与处理、计算机应用、数字图像处理技术、生物医学工程等

  • 张庆灵

    东北大学

    主要从事于微分代数系统的结构性质及其相关控制问题的研究。

  • 吴振强

    陕西师范大学

    网络安全与信息隐藏。

  • 刘兴钊

    电子科技大学

    BST铁电薄膜、半导体SiC外延薄膜、半导体低维结构等

  • 孙正兴

    南京大学

    多媒体计算、计算机视觉和智能人机交互等,重点研究面向普适计算的智能视觉环境及其交互技术

  • 张波

    电子科技大学

    长期从事功率半导体技术、电源管理IC及专用IC的教学、科研和人才培养。

  • 朱义胜

    大连海事大学

    通信与电路方面的教学和研究

  • 李志斌

    华东师范大学

    非线性系统中的符号计算问题

  • 姓名:张卫
  • 目前身份:
  • 担任导师情况:
  • 学位:
  • 学术头衔:

    博士生导师,

  • 职称:-
  • 学科领域:

    微电子学

  • 研究兴趣:从事集成电路工艺、半导体材料和器件的研究。
个人简介

张卫,男,汉族,1968年5月出生,中共党员。复旦大学微电子学系教授,博士生导师,1995年毕业于西安交通大学,获博士学位。1995.06-1997.05在复旦大学做博士后,1997年5月留复旦大学任教至今。2001.02-2002.05获德国洪堡基金资助在TU-Chemnitz做访问学者(洪堡学者)。2004年入选教育部新世纪优秀人才支持计划。从事集成电路工艺、半导体材料和器件的研究。近年来主要的科研工作有:原子层淀积高介电常数介质及其在CMOS器件和MIM中的应用;低介电常数介质和铜互连技术;低压CVD金刚石薄膜理论等。曾先后主持国家自然科学基金、863项目、上海市科委重点项目、上海-应用材料研究与发展基金、教育部骨干教师计划和教育部博士点基金等10多项科研项目。出版著作1部(第2作者),在国内外学术会议和期刊上已发表论文130多篇。曾获教育部提名国家科学技术奖自然科学奖二等奖1项(排名第2)。1999年上海市优秀博士后,1999年上海市高校优秀青年教师。曾担任第1届亚洲化学气相淀积国际学术会议主席,第2届亚洲化学气相淀积国际学术会议顾问委员会成员和第3届亚洲化学气相淀积国际学生会议组织委员会成员。曾任2000年Thin Solid Films期刊Guest Editor。中国真空学会、中国电子学会高级会员和IEEE会员。

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