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于威

     

  

(1)硅基材料制备及生长动力学研究方向。(2)超硬材料制备及生长机理研究方向。(3)纳米Si、SiC薄膜制备及发光特性研究方向。

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  • 姓名:于威
  • 目前身份:
  • 担任导师情况:
  • 学位:
  • 学术头衔:

    博士生导师

  • 职称:-
  • 学科领域:

    光学

  • 研究兴趣:(1)硅基材料制备及生长动力学研究方向。(2)超硬材料制备及生长机理研究方向。(3)纳米Si、SiC薄膜制备及发光特性研究方向。
个人简介

 于威,1965年出生,博士毕业于河北大学光学专业。毕业后一直在河北大学物理系激光研究所从事教学与科研工作。作为主研人员近几年完成河北省自然科学基金项目二项,项目总体水平达到国际先进水平。1997年获河北省科技进步三等奖一项。1998年获河北省青年科技奖。近年来在《物理学报》、《中国激光》、《光谱学与光谱分析》等重要学术刊物上发表学术论文30余篇。
  主要成果:(1)硅基材料制备及生长动力学研究方向:在低温(<1000℃)条件下实现了晶态碳化硅薄膜生长,通过分子动力学模拟分析揭示了粒子载能对碳化硅生长辅助低温生长的物理机制,为该材料的低温外延生长研究奠定了基础。(2)超硬材料制备及生长机理研究方向:实现了晶态C3N4薄膜的脉冲放电等离子体辅助激光沉积,为相关材料合成和进一步的机理研究提供了新的手段;揭示了该薄膜材料在硅衬底上的从非晶到晶态再到晶态SiCN薄膜的相变规律,对该材料及相关材料的工艺研究提供了参考数据。(3)纳米Si、SiC薄膜制备及发光特性研究方向:实现了适合硅基纳米薄膜制备的螺旋波等离子体化学气相沉积技术,得到了纳米硅、纳米碳化硅及镶嵌在氮化硅基质中的纳米硅等结构薄膜,获得了近红外-可见室温可见发光纳米硅薄膜及可见-紫外室温发光的纳米碳化硅薄膜的沉积工艺条件。纳米碳化硅发光机制研究为该材料高效发光探索提供了基础数据。

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