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2005年03月04日

郭东明，康仁科，苏建修，金洙吉

机械工程学报，2003，39（10）：100～105，-0001，（）：

-1年11月30日

在集成电路（IC）制造中，化学机械抛光（CMP）技术在单晶硅衬底和多层金属互连结构的层间全局平坦化方面得到了广泛应用，成为制造主流芯片的关键技术之一。然而，传统CMP技术还存在一定的缺点或局限性，人们在不断完善CMP技术的同时，也在不断探索和研究新的平坦化技术。在分析传统CMP技术的基础上，介绍了固结磨料CMP、无磨料CMP、电化学机械平坦化、无应力抛光、接触平坦化和等离子辅助化学蚀刻等几种硅片平坦化新技术的原理和特点以及国内外平坦化技术的未来发展。

硅片,，化学机械抛光,，平坦化,，集成电路

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2005年03月04日

【期刊论文】反求工程中基于图像灰度信息的三维曲面重构*

郭东明，乌秀春，王晓明，周伟峰

机械工程学报，2003，39（1）：47～50，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

基于物体表面图像灰度信息的三维几何形状反求（由明暗恢复形状），已成为工业界和学术界研究的热点问题之一。首先给出描述该问题的数学物理模型，并利用变分原理将其转化为一个泛函的极小化问题，然后应用有限差分思想和非线性最小二乘方法，将该泛函极小化问题归结为求解线性方程组。最后利用该算法产生的迭代公式对合成图像进行计算，并应用曲面造型软件CAXA（制造工程师）进行曲面重构，从而验证了该方法的有效性和可行性。

反求工程,，由明暗恢复形状,，曲面,，三维重建

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2005年03月04日

【期刊论文】面向导弹天线罩精密加工的三维曲面重构*

郭东明，娄鑫，王晓明，贾振元

机械工程学报，2001，37（9）：92～95，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

导弹天线罩的精密加工，属于自由曲面精密加工的范畴，它对天线罩以及导弹的性能起着至关重要的作用。根据测量所得的天线罩几何表面的离散数据点．结合对其综合电气性能测试数据的处理和分析．实现原始曲面的重构，并由此构造出要求的曲面，再进行分析和规划．宴现按需去除加工，是实现对其精密加工的关键。以双三次B样条曲面方法为工具，利用其良好的几何特性以及简单有效的算法，实现了天线罩廓形曲面的重构，为在计算机上实现曲面绘制提供了理论基础。求算的等距面方程，为数控加工中刀具轨迹的规划莫定了基础。

B样条曲线,， B样条曲面,，曲面拟台

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2005年03月04日

【期刊论文】面向快速制造的特种加工技术

郭东明，王晓明，赵福令，贾振元，黄因惠，赵万生

中国机械工程，2000，11（122）：206～212，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

特种加工是对传统机械加工方法的有力补充和延伸。目前，这一技术正向着自动化、柔性化、精密化、集成化、智能化和最优化方向发展；在已有的工艺不断完善和定型的同时，新的特种加工技术不断涌现；正在形成面向快速制造的特种加工技术新体系。分析总结了特种加工技术的构成、研究现状和发展趋势，构筑了面向快速制造的特种加工技术体系和技术途径。

快速制造，特种加工，复合加工，人工智能

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2005年03月04日

【期刊论文】The cutting performance in multipass abrasive waterjet machining of industrial ceramics

郭东明， J. Wang， D.M. Guo

Journal of Materials Processing Technology 133(2003)371-377，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

An analysis of the cutting performance of multipass abrasive waterjet (AWJ) machining is presented based on an experimental investigation on an 87% alumina ceramic. It is shown that with a good combination of cutting parameters such as nozzle traverse speed, multipass cutting demonstrates distinct superiority over the single pass cutting. Plausible trends of kerf quality and depth of cut with respect to the number of passes, nozzle traverse speed and nozzle traverse direction are analyzed. A general guide for the selection of cutting parameters in multipass cutting is finally presented based on the analysis.

Abrasive waterjet cutting， Cutting performance， Multipass waterjet cutting

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