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韩雷
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期刊论文
底座激振下微型叠层芯片共振频率检测
振动与冲击，2012，第31 卷第7 期，-0001，（）：
摘要/描述
为测试微悬臂芯片的动态特性，建立以压电陶瓷为激振底座的测试系统。采用白噪声、稳态正弦和快速 正弦( 啁啾信号) 扫频方式激励微叠层悬臂芯片，由多普勒测振仪测试芯片动态响应。通过分析压电陶瓷阻抗变化与芯 片动态响应，获得的频率对应于压电陶瓷激振器所激励叠层芯片的一阶共振频率，可作为微结构和器件动态分析的测试 方案。
【免责声明】以下全部内容由[韩雷]上传于[2012年07月12日 11时13分22秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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