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衣立新

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期刊论文

SiO/SiO2超晶格结构界面发光的研究

衣立新王申伟衣立新*何桢胡峰王永生

光谱学与光谱分析,2009,29(5):1197~1200,-0001,():

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摘要/描述

利用热蒸发技术在硅衬底上制备了层厚不同的SiO/SiO2超晶格样品。对其光致发光谱进行研究发现,随着SiO/SiO2超晶格中SiO层厚度的增加,发光峰在400~600nm之间移动。研究表明,样品的发光中心来自于SiO/SiO2界面处的缺陷发光(界面态发光)。即在样品沉积的过程中,在SiO/SiO2的界面处由于晶格的不连续性,会形成大量的Si-O悬挂键,这些悬挂键本身相互结合可以形成一定数量的缺陷,同时由于O原子容易脱离Si原子的束缚而产生扩散。因此,这些悬挂键可以与扩散的O原子结合,随着SiO层厚度的增加,在SiO/SiO2的界面处先后出现WOB(O3≡Si-O-O•),NOV(O3≡Si-Si≡O3),E′中心(O≡Si•),NBOHC(O3≡Si-O•)等缺陷,这些缺陷在SiO层厚度增大的过程中对发光先后起到主导作用,从而使得发光峰产生红移。

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