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陈文元

研究方向为微机电系统(MEMS)及其集成技术，目前主要研究：微惯性器件；MEMS信息安全技术：微流控系统；微仿生机器人等。

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姓名：陈文元
目前身份：
担任导师情况：
学位：
学术头衔：

博士生导师
职称：-
学科领域：

水声工程
研究兴趣：研究方向为微机电系统(MEMS)及其集成技术，目前主要研究：微惯性器件；MEMS信息安全技术：微流控系统；微仿生机器人等。

个人简介

陈文元，上海交通大学教授，博士生导师，1968年毕业于上海交通大学，曾担任718惯导陀螺仪主设计师，PL-1小型平台罗经陀螺设计师，近年来又设计磁记录设备磁盘驱动器、多用途磁卡机、电磁型微马达、微行星齿轮减速器和电磁型微泵、微陀螺等MEMS技术的研究，目前正在进行PCR的研究，曾主持我国第一条生物大分子实验线站及XAFS实验线站关键设备的研究，在国内外发表论文80余篇，申请专利10多项，曾获1989年北京国际博览会金奖，1990年上海市科技结合生产振兴一等奖，1992年上海市科技进步三等奖，1998年国家教委科技进步二等奖，1999年国家教育部科技进步一等奖，2000年国家科技发明二等奖。
研究方向为微机电系统(MEMS)及其集成技术，目前主要研究：微惯性器件；MEMS信息安全技术：微流控系统；微仿生机器人等。

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2005-05-26

【期刊论文】磁卡机用直流伺服电机的研究

陈文元，陈铁年，丁涛

电子计算机外部设备，1994，18（5）：53～58，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文论述了自行设计研制的磁卡机用直流伺服电动机的设计、结构、性能特点和测试结果。

磁卡机，伺服电机

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2005-05-26

【期刊论文】LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

陈文元，张卫平，周迪，范志荣

微细加工技术，2000（1）：66～70，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中，X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成，微齿轮图形的分割及图形的拟合。

L IGA 技术，微齿轮， CAD

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2005-05-26

【期刊论文】微细EDM技术加工微齿轮的研究

陈文元，丁涛，张卫平，姚锦元

微细加工技术，1998（2）：73～78，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文通过用微细电火花（EDM）方法加工模数为0106的微齿轮研究，阐述了微细EDM方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。

微细加工，电火花，微齿轮

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2005-05-26

【期刊论文】微小机电强链中的驱动器

陈文元，张卫平，赵小林，高扬，，吴校生

微纳电子技术，2003（7-8）：586～589，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器，包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管，详细阐述了其工作原理、机构特点，并对其优缺点进行了分析，同时提出一些改进方案和设计，可作为设计微小机电强链驱动器的参考。

微小机电强链，驱动器，工作原理，机构特点

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2005-05-26

【期刊论文】一种用于同步辐射光束线上的压弯机构的设计与试验

陈文元，王俊杰，张卫平，姜勇，刘鹏，盛伟繁，胡天斗

机械设计与研究，2004 20（6）：53～56，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

利用杠杆反撬原理提出了一种同步辐射光专用反射镜的压弯机构。该机构结构简单，压弯行程大。采用有限元法建立这种压弯机构的分析模型，仿真了其压弯过程，比较了几组不同参数的压弯性能，得到了优化的设计参数，并制作了样机。样机试验数据表明提供的压弯机构原理是可行的，压弯机构仿真有限元模型是可信的，这种设计方法是可靠的。提供的实验方法可用于以后的压弯机构的设计。

压弯机构，同步辐射，有限元模型，设计

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2005-05-26

【期刊论文】微行星齿轮减速器的计算机辅助建模和仿真的研究

陈文元，张卫平①，陈文元②，丁涛，李世峰①

微型电脑应用，1999（5 ）：39～42，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

MEMS是当今世界日益兴盛的高技术领域，而微减速器是MEMS中一个重要的组成部分，本文深入研究了微行星齿轮减速器的计算机辅助设计CAD及运动学仿真问题，在Auto CAD和3DS基础上进行二次开发，综合了Auto CAD建模精确性和3DS动画仿真的优点，实现了单个齿轮的设计、图形绘制、实体建模、整个轮系的装配及驱动和仿真。在样机制造之前，在计算机上就可以实现样机的建模、运动仿真, 直观地观察到设计的效果。对于降低设计成本，缩短设计时间，提高设计质量和效率，对于拓展微机械设计、仿真领域内的研究都有一定的意义。

MEMS，微减速器，建模， CAD，仿真

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2005-05-26

【期刊论文】微机械密码锁中的鉴码器机构

陈文元，庞军玲

机械设计与研究，18（6）：24～27，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍了国外已经成功研制出的几种类型的微机械鉴码器机构，详细阐述其工作原理、结构特点，并且对各种结构的优缺点进行了分析，同时提出一些改进方案，可以作为设计微机械鉴码器机构时的参考。另外，提出设计齿轮型微机械鉴码器机构时的关键，即如何设计齿轮码盘。

强链，微鉴码器机构，迷宫，反向啮合齿轮（CMG）

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2005-05-26

【期刊论文】微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算

陈文元，张卫平，范志荣

上海交通大学学报，2000 34（3）：381～383，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出了微3K-2型行星齿轮减速器设计中，模数小于0.08的微齿轮传动啮合模型和参数计算公式。并对模数分别为0.08、0.06、0.04、0.03，太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮齿数分别为15、11、36、39的微齿轮进行了参数计算和比较。根据计算结果完成了模数0.06的微3K-2型行星齿轮减速器的研制。该减速器与电磁型微电动机相配，可降低微电动机的转速、减小微电动机的惯量、增大微电动机的输出力矩。

齿轮，微行星齿轮减速器，微齿轮啮合

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2005-05-26

【期刊论文】基于MEMS的微泵研究进展

陈文元，苏宁锋

微纳电子技术革，2004（5）：33～40，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

基于微加工技术的微流体系统是微机电系统（MEMS）的一个重要分支，可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域。本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作的原理以及国内外研究现状。

微机电系统，微流体系统，微型泵

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2005-05-26

【期刊论文】基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造

陈文元，张卫平，陈迪，吴校生，陈晓梅，徐正福

中国机械工程，2003，14（5）：374～376，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造，包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X射线掩模板的CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制，以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为400Lm的太阳轮、行星轮，厚度为200Lm的固定内齿轮、旋转内齿轮，其齿数分别为15、11、36、39。用这些微齿轮装配成了一台模数为0103mm、减速比为44.2、最大外径为2mm的微行星齿轮减速器，并将其成功地应用在直径为2mm的电磁型微马达上。

3K-2 型微行星齿轮减速器，微齿轮， LIGA，电磁型微马达

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2005-05-26

【期刊论文】微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算

陈文元，张卫平，范志荣

上海交通大学学报，2000 34（3）：381～383，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

齿轮，微行星齿轮减速器，微齿轮啮合

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2005-05-26

【期刊论文】微细EDM技术加工微齿轮的研究

陈文元，丁涛，张卫平，姚锦元

微细加工技术，1998（2）：73～78，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文通过用微细电火花（EDM）方法加工模数为0106的微齿轮研究，阐述了微细EDM方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。

微细加工，电火花，微齿轮

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2005-05-26

【期刊论文】LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

陈文元，张卫平，周迪，范志荣

微细加工技术，2000（1）：66～70，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

L IGA 技术，微齿轮， CAD

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2005-05-26

【期刊论文】基于MEMS的微泵研究进展

陈文元，苏宁锋

微纳电子技术革，2004（5）：33～40，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微机电系统，微流体系统，微型泵

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2005-05-26

【期刊论文】微小机电强链中的驱动器

陈文元，张卫平，赵小林，高扬，，吴校生

微纳电子技术，2003（7-8）：586～589，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微小机电强链，驱动器，工作原理，机构特点

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2005-05-26

【期刊论文】微行星齿轮减速器的计算机辅助建模和仿真的研究

陈文元，张卫平①，陈文元②，丁涛，李世峰①

微型电脑应用，1999（5 ）：39～42，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

MEMS，微减速器，建模， CAD，仿真

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2005-05-26

【期刊论文】微机械密码锁中的鉴码器机构

陈文元，庞军玲

机械设计与研究，18（6）：24～27，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

强链，微鉴码器机构，迷宫，反向啮合齿轮（CMG）

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2005-05-26

【期刊论文】磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析*

陈文元，吴校生，张卫平

传感器技术，2003，22（12）：12～14，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

磁悬浮转子微陀螺是一种集经典陀螺的工作原理与易实现微加工批量生产的特点于一体，可望得到高准确度的微陀螺。它是基于电磁场原理得以悬浮、旋转以及稳定；以ANSYS 5.6 有限元分析软件包为工具分析了悬浮线圈中的电流幅值和线圈宽度对悬浮力的影响规律；分析了磁悬浮转子微陀螺的运行稳定性,验证了稳定线圈能使微转子稳定运行，从而磁悬浮转子微陀螺的设计得以论证。进行的数值计算为优化微陀螺的结构设计提供依据。

磁悬浮，微陀螺，有限元，设计

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2005-05-26

【期刊论文】基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造

陈文元，张卫平，陈迪，吴校生，陈晓梅，徐正福

中国机械工程，2003，14（5）：374～376，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

3K-2 型微行星齿轮减速器，微齿轮， LIGA，电磁型微马达

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2005-05-26

【期刊论文】电磁驱动柔性振动膜无阀微泵

陈文元，苏宇锋，崔峰

微细加工技术，2003，（4）：60～64，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺，将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合，得到流量大、易于控制的新型微泵。该微泵结构简单，由硅橡胶（聚二甲基硅氧烷 PDMS 橡胶）振动膜和无阀泵泵体组成，将硅加工工艺和非硅加工工艺（电镀）相结合。采用电镀和硅橡胶加工方法将振动膜直接制作在一个硅片上；用电镀和体硅加工工艺将驱动线圈和无阀泵泵体制作在另一块硅片上，然后将两个硅片键合在一起。对该微泵的性能特点正进行着更深入的研究。

电磁驱动，微泵，无阀泵，硅橡胶

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