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2009年05月14日

【期刊论文】氧化钒热敏特性研究

吴志明，蒋亚东，牟宏，黄春华

仪器仪表学报，2001，24（4）：237～238，-0001，（）：

-1年11月30日

采用金属钒作为靶材，利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜。分析了改变溅射总压，溅射时间，溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响，探索了氧化钒的成膜工艺。并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻，薄膜电阻温度特性。最后对样品进行了XPS分析。

氧化钒，薄膜，电阻温度系数

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电子科技大学，973，863首席科学家

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