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陈文元
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期刊论文
LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计
微细加工技术，2000（1）：66～70，-0001，（）：
摘要/描述
介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中，X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成，微齿轮图形的分割及图形的拟合。
【免责声明】以下全部内容由[陈文元]上传于[2005年05月26日 17时12分53秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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