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陈文元
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期刊论文
电磁驱动柔性振动膜无阀微泵
微细加工技术，2003，（4）：60～64，-0001，（）：
摘要/描述
提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺，将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合，得到流量大、易于控制的新型微泵。该微泵结构简单，由硅橡胶（聚二甲基硅氧烷 PDMS 橡胶）振动膜和无阀泵泵体组成，将硅加工工艺和非硅加工工艺（电镀）相结合。采用电镀和硅橡胶加工方法将振动膜直接制作在一个硅片上；用电镀和体硅加工工艺将驱动线圈和无阀泵泵体制作在另一块硅片上，然后将两个硅片键合在一起。对该微泵的性能特点正进行着更深入的研究。
【免责声明】以下全部内容由[陈文元]上传于[2005年05月26日 17时06分47秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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