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陈文元
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期刊论文
基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造
中国机械工程，2003，14（5）：374～376，-0001，（）：
使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造，包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X射线掩模板的CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制，以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为400Lm的太阳轮、行星轮，厚度为200Lm的固定内齿轮、旋转内齿轮，其齿数分别为15、11、36、39。用这些微齿轮装配成了一台模数为0103mm、减速比为44.2、最大外径为2mm的微行星齿轮减速器，并将其成功地应用在直径为2mm的电磁型微马达上。
【免责声明】以下全部内容由[陈文元]上传于[2005年05月26日 17时09分20秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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