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成果题名：甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si：H薄膜中氧污染的初步研究*
作者： Yang Hui-Dong1)2)3)+, Wu Chun-Ya1), Zhao Ying1), Xue Jun-Ming1), Geng Xin-Hua1), Xiong Shao-Zhen1)
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成果题名：甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si：H薄膜中氧污染的初步研究*
作者： Yang Hui-Dong1)2)3)+, Wu Chun-Ya1), Zhao Ying1), Xue Jun-Ming1), Geng Xin-Hua1), Xiong Shao-Zhen1)
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