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2005年07月19日

闫鹏勋，韩修训，阎鹏勋，阎逢元，刘维民，余画洋，徐建伟，吴志国

摩擦学学报，22（3）：175～179，-0001，（）：

-1年11月30日

分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了TiN涂层，采用X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征；利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度；在DF2PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能。结果表明：与采用直流磁控溅射法在400℃基底上制备的TiN涂层相比，采用磁过滤沉积装置在室温下制备的TiN涂层更加致密，表面平滑，最大硬度达35Gpa，摩擦系数明显较小（0.1～0.4），耐磨性较好。

TiN，涂层，磁过滤阴极弧等离子体，纳米压入， PVD，结构，性能

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2005年07月19日

【期刊论文】在室温条件下制备高质量纳米结构TiN薄膜研究

闫鹏勋，吴志国，徐建伟，张玉娟，，张伟伟，刘伟民

无机材料学报，2004，19（6）：1386～1390，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

在室温条件下，利用磁过滤等离子体在单晶硅和不锈钢表面上制备了性能优异的纳米结构TiN薄膜。运用原子力显微镜和掠角入射X射线衍射仪对其结构与形貌进行了表征，利用纳米压痕仪测量了TiN薄膜的硬度和弹性模量。结果表明：TiN薄膜表面光滑，致密，无柱状晶；TiN晶粒的平均尺寸为50nm，薄膜硬度达50GPa，是传统CVD和PVD技术沉积氮化钛的两倍多；XRD衍射试验表明，纳米TiN的衍射角都普遍向小角度移动，TiN晶粒沿（111）择优生长。

TiN，磁过滤等离子体，纳米薄膜

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2005年07月19日

【期刊论文】Overgrowing single crystalline ZnB2O4 on multiwall carbon nanotubes: Straightening the curly tubes

闫鹏勋， P. X. Yan， a) J. Z. Liu， J. Wang， and Z. G. Wu

Appl. Phys. Lett., Vol. 85, No.20, 15 November 2004，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

Single crystals of ZnB2O4 have been grown from a supercooled molten ZnO-B2O3 system on multiwall carbon nanotubes. Transmission electron microscopy investigations indicated that the originally curly carbon nanotubes were well straightened after the single-crystal coating. The coating and straightening mechanism are discussed.

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2005年07月18日

【期刊论文】类金刚石涂层在不同载荷和湿度下的摩擦特性

闫鹏勋，韩修训，阎鹏勋，阎逢元，刘维民

摩擦学学报，23（1）：5～9，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置在单晶硅基底上制备了类金刚石涂层，采用原子力显微镜和纳米压痕仪测定了其表面形貌及硬度，在DF2PM型动2静摩擦系数精密测定仪上考察了涂层在不同载荷及湿度下同GCr15钢对摩时的摩擦性能。结果表明，在不同环境湿度条件下DLC涂层的摩擦性能明显不同，这主要归因于转移膜形成机理的不同；在3N载荷下，DLC涂层同GCr15钢对摩时的摩擦系数相对较小，且较为稳定；当环境湿度增大至100%时，摩擦系数显著增大，并发生类似于含氢类金刚石涂层的灾难性磨损。

磁过滤等离子体，类金刚石涂层，摩擦性能

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2005年07月19日

【期刊论文】多弧镀及磁过滤阴极弧沉积TiN薄膜的摩擦学性能对比

闫鹏勋，张玉娟，，吴志国，张伟伟，阎鹏勋，刘维民，薛群基

摩擦学学报，24（6）：498～502，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

分别采用多弧离子镀（MAIP）和带有平面“S”形过滤管的磁过滤阴极弧设备（FCAP）在不锈钢基底上制备了2种TiN薄膜；采用往复式球2盘摩擦磨损试验机评价了2种薄膜的摩擦学性能；采用扫描电子显微镜观察和分析了薄膜磨斑表面形貌及其元素面分布。结果表明：采用FCAP技术制备的薄膜表面光滑、缺陷少、普遍具有明显的（111）面择优取向；而采用MAIP技术制备的薄膜表面存在较多大小不一的颗粒和孔洞，且无明显取向。在较低载荷下，采用FCAP薄膜表现出较好的抗磨性能，其磨斑表面存在沉积的TiN磨屑；而采用MAIP制备的薄膜磨斑表面无转移沉积磨屑，摩擦系数较高。

磁过滤等离子体沉积，多弧离子镀，氮化钛薄膜，摩擦学性能

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